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在原子層沉積(ALD)中使用臭氧(O?)作為氧化劑時,臭氧發生器及其相關設備是關鍵組成部分。以下是ALD中臭氧發生器整套設備的組成及其連接方式:
 所需設備
1. 臭氧發生器
   - 功能:產生高純度臭氧。
   - 類型:常見的有電暈放電式和紫外光解式。
   - 輸出:臭氧濃度通常在1-20%之間,具體取決于ALD工藝需求。
   - 根據濃度要求:推薦同林3S-T10 或 ATL -H30 高濃度臭氧發生器
 
 2. 氧氣源
   - 功能:提供高純度氧氣作為臭氧發生器的原料。
   - 設備:氧氣瓶或氧氣發生器。
   - 連接:通過氣體管路連接到臭氧發生器的進氣口。
 
 3.  質量流量控制器(MFC)
   - 功能:精確控制氧氣和臭氧的流量。
   - 連接:氧氣源和臭氧發生器之間安裝MFC,確保穩定供氣。
 
 4. 臭氧濃度監測儀
   - 功能:實時監測臭氧濃度。
   - 連接:安裝在臭氧發生器出口,確保臭氧濃度符合工藝要求。
  - 推薦3S-J5000紫外臭氧檢測儀
 
 5. 氣體混合室
   - 功能:將臭氧與其他反應氣體(如前驅體)混合。
   - 連接:臭氧發生器出口與ALD反應室之間。
 
 6. ALD反應室
   - 功能:進行原子層沉積過程。
   - 連接:氣體混合室通過氣體管路連接到反應室。
 
 7. 尾氣處理系統
   - 功能:處理未反應的臭氧和副產物,防止環境污染。
   - 設備:臭氧分解器、尾氣洗滌器等。
   - 連接:反應室出口連接到尾氣處理系統。
 
 8. 控制系統
   - 功能:自動化控制臭氧發生器、MFC、反應室等設備。
   - 連接:通過電信號或軟件與各設備連接。
 
 設備連接流程:
1. 氧氣源 →質量流量控制器 → 臭氧發生器。
2. 臭氧發生器 → 臭氧濃度監測儀 → 氣體混合室 → ALD反應室。
3. ALD反應室 → 尾氣處理系統。
4. 控制系統 連接并監控所有設備。
 
 注意事項:
- 氣體管路:需使用耐臭氧腐蝕的材料(如不銹鋼、聚四氟乙烯)。
- 安全性:臭氧具有強氧化性,需確保設備密封性并配備泄漏檢測裝置。
 
這套設備及其連接方式確保了臭氧在ALD中的高效、安全應用。

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